一、什么是谐振式电压传感器？

· 谐振式压电传感器是一种典型的利用外界压力作用时结构频率的改变来实现压力测量的MEMS器件 !

二、谐振式电压传感器的特点

· 优点：高精度.高分辨率 高抗干扰能力 适用于长距离传参输，能直接与数字设备相连，高稳定性，高可靠性

· 缺点：要求材料质量较高，加工工艺复杂，生产周期长，成本较高，输出频率与被测量往往是非线性关系，需要进行线性化处理

三、测试方法：

1、闭环测试法：

· 通过一个正反馈网路将输出信号反馈到激励端，调制幅度与相位平衡，实现连续等幅度自激振荡，直接输出谐振频率

· 测试参数(静态性能指标)：静态精度，灵敏度，温度系数等

2、传统测试方式

3、现有方式

4、实际测试连线

在这里利用泰克示波器的Spectrum View功能可以很轻松的了解被测器件的谐振频率点，同时通过环路响应测试功能稍加改进就能获得阻抗和相位的曲线。

左图为网分测到的数据，右图为示波器测到的阻抗和相位图，经过对比可以发现测试的结果完全一致，所以通过这种方式是可以完整测试到谐振点和反谐振点的，并且其阻抗可以完整得到。

四、测试设备

在此实验中，我们使用的泰克示波器型号是MSO54，其余还用到了TPP0500（标配），TCP0030A（选配），分析软件（选配）