ASML CEO Peter Wennink最新接受媒体采访时透露，他们正在全力研制划时代的新high-NA EUV设备，而高NA EUV光刻机系统的单台造价将在25亿元(单台造价在3亿到3.5亿欧元之间，约合人民币21.95到25.61亿元)。

这个价格什么概念，资料显示重型航母(排水量60000吨以上)航母造价是35亿美金左右，而上述光刻机成本等同于f35战斗机造价(1.5-2.5亿美元)。

尽管如此昂贵，但Intel此前表示自己是全球第一个下单的客户，台积电也跟进了。高NA EUV光刻机将在2024年进厂投入使用，预计年产能20台左右。

按照ASML的说法，高NA EUV将在2024年进厂投入使用，预计年产能20台左右。该公司还预计其营收将在2025年翻一番。