随着工业设备的高功能化，配备的电子元件数量也在不断增加，因此，传感器封装需要实现小型化。此外，由于工业设备的自动化程度不断提高，精确获取动态姿态角⁽¹⁾和自身位置的需求也在不断增加。传感器各轴（X轴、Y轴和Z轴）的正交性是更精确地估算动态姿态角的一个重要因素，迄今为止，为了确保正交性，用户必须通过其他设备外部校准。

(1) 动态姿态角：运动物体的姿态角。

为此，开发了一种达到了世界超高水平精度的6轴MEMS惯性传感器，噪声低而且输出稳定。陀螺仪传感器和加速度传感器的每个轴都能输出经过正交补正后的值，能简化用户的校准过程，有助于降低生产成本。此外，紧凑的设计可以帮助节省PCB空间。仅使用“SCH16T-K01”就能实现3轴陀螺仪传感器和3轴加速度传感器的正交性能得到保证的6DoF⁽²⁾。

(2) 6DoF(6 Degrees Of Freedom):物体在3维空间中能够获取的运动自由度。

今后，村田将继续致力于开发满足市场需求的惯性传感器，为提高工业设备的精度做出贡献。

主要特长

1. 在MEMS陀螺仪中实现了世界超高水平的传感器性能

lGyro bias instability（down）　0.5deg/h或更低

lGyro noise density　0.3 mdps/ √ Hz或更低

lLinearity　0.02dps(陀螺仪)　0.06m/s^2（加速度）　※全温度范围

2. 对陀螺仪和加速ｍｇ度各轴的正交性进行补正后的传感器输出

轴正交性Error值　0.3deg或更小　※全温度范围

3. 村田的6轴产品中的最小尺寸

12mm x 14mm x 3mm（长ｘ宽ｘ高）

主要规格