国际电子商情讯 有报道称,29日晚间,台积电南科晶圆18厂5nm全厂停产,原因是该厂在产线不慎使用了部分疑似受污染的气体。
报道指出,当涉事工厂发现问题之时,气体污染影响的范围较大,因此台积电除了暂时将18厂5nm全厂停产,还立即通知已回家的员工返回工厂控制事态,并将一些供应商挡在厂区之外。
国际电子商情了解到,气体污染对芯片制造会带来一定影响。联华林德中国区总裁唐瑞平在2019年时曾向《国际电子商情》姊妹刊《电子工程专辑》介绍,几乎所有制造过程中都需要使用大量氮气,用以净化和抑制化学敏感工序。因为“工业气体是半导体发展必不可少的血液。”据悉,联华林德是全球第三大气体公司——林德(Linde)和台湾地区工业气体制造商在80年代末、90年代初于大陆地区合资成立的子公司。
唐瑞平指出“对电子行业而言,设备投资很贵,工艺要求很复杂,良率是竞争力的保证。要怎样得到好的良率,除了工艺保证之外,工业气体的纯度、稳定性、可靠性都是先决条件。业内最近两年发生过一些良率事故,都是因为气体纯度出了问题。”
台积电回应:传言严重夸大,事件影响甚微
对此,台积电今(30)日回应说“传言过于夸大”,并强调,经内部确认是有部分来自厂商供应的气体疑似受污染,已即时调度其他气体供应,为确保生产品质无虞,正进行严密后续作业,此事件对营运并未造成显著影响,后续将持续追踪。
台积电总裁魏哲家也在近期法说会上表示,5nm制程良率良好,在智能手机与高效运算相关应用驱动下,需求持续强劲,估今年5nm制程将占整体晶圆销售的20%。
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