2019年，日本对韩国实施氟化氢、光阻剂和聚酰亚胺限制出口，这也促进了韩国的光刻胶自立。根据韩媒的最新消息，韩国已经成功打造自主产线，对日本关键原料的进口度明显降低。

韩国产业通商资源部周一公布，2018年，自日本进口氟化氢总额为6686万美元，2020年大幅降至938万美元，为17年来首度低于1000万美元。在此期间，韩国进口日制氟化氢占氟化氢进口总量的比率，也从32.2%锐减至12.8%。

报道指出，韩国进口日制氟化氢急遽减少，主因是韩国企业成功提高自制率，并改觅新供应链来源。例如，韩国半导体化学材料供应商SoulBrain将氢氟酸水溶液产量增加一倍，半导体与面板特殊气体供应商SK Materials也开始生产氟化氢气体。

光阻剂和氟化聚酰亚胺呈现同样的趋势，韩国政府已吸引杜邦和东京应化工业赴该国投资，在当地生产EUV制程所需的光阻剂。韩国化学品制造商Kolon Industries和鲜京化学(SKC)亦具有生产氟化聚酰亚胺的能力。

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