陶氏化学美国路州厂在美东时间15日传出爆炸起火事件,虽无人伤亡,惟该厂生产光阻剂、抛光垫/液等半导体关键耗材,主要供成熟制程晶圆制造使用,牵动业界神经,联电、世界、力积电等台湾晶圆代工成熟制程相关厂商密切关注后续发展,目前均评估不影响生产。
陶氏化学为全球半导体关键化学材料重要供应商,高纯度化学品产品线提供一系列光阻材料,包括光阻剂、光阻辅助剂等,也供应全球重要的CMP材料包括抛光垫、抛光液等。
从产业地位来看,陶氏化学在全球光阻剂市占率约17%,CMP抛光垫市占79%,CMP抛光液市占率约15%左右。
半导体业界人士表示,陶氏化学光阻剂主力应用在成熟制程,对先进制程影响相对有限,对成熟制程影响有待观察,并牵动非半导体的其余化学品耗材。
目前看来,台湾晶圆制造商都有多元耗材来源。以台积电为例,过去南科晶圆14B厂曾遭遇光阻污染事件,当时公司就已对相关化学品管控,积极评估导入更多元的光阻供应商,日系厂商因品质稳定顺势受到青睐。
台积电也是成熟制程主力供应商之一,惟公司目前处于法说会前缄默期,业界评估,台积电有多元供应商,此次陶氏化学工厂爆炸事件,对台积电应该没有直接影响。
世界先进、联电、力积电等台厂也密切关注相关事件动态。联电初步评估,相关耗材产品都会有安全库存,陶氏化学工厂爆炸,不会对联电旗下工厂造成影响。力积电则说,目前公司营运不受相关事件影响。
另外,通路商华立、崇越均代理日本原厂光阻剂与耗材,当前日系厂商在先进制程光阻剂扮演关键角色。崇越提到,光阻剂及CMP等耗材现阶段供货皆正常,不受影响;至于是否有转单效益或后续影响,须持续观察。
作为全球半导体级化学品的重要供应商,陶氏化学不仅拥有高纯度化学品产品线,还提供了一系列的光刻材料,包括光刻胶、光刻溶剂光刻辅助剂等。同时,陶氏化学还是全球重要的CMP(化学机械抛光)材料供应商,包括抛光垫、抛光液等。
因此,陶氏化学工厂爆炸引发了不少半导体业界人士的关注。
资料显示,陶氏在路易斯安那州拥有四个工厂,分别为:普拉克明(Plaquemine)、大海湾(Grand Bayou)、哈恩维尔(Hahnville)和格林斯堡(Greensburg),这四家工厂生产了100多种基本和特种化学品,销往全球。为当地4000多名陶氏和合同员工提供了就业机会,每年为路易斯安那州经济注入超过10亿美元。