真空计原理

　　真空计（Vacuum Gauge），又名真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。

　　经常有同学询问真空计原理，这里为大家做个系统的解释，按照不同的真空计分类，详细说明每种真空计的工作原理。

　　皮拉尼真空计原理：

　　利用电热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系的原理，给灯丝通过恒流源供电加热，由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化（恒温）引|起电桥（惠斯通）电阻变化，根据电阻变化测算出气压。

　　热阴极电离规真空计原理：

　　高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子，带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出，离子流的大小与气体压力成比例关系。

　　冷阴极电离规真空计原理：

　　冷阴极电离规也称为潘宁规，和热阴极电离规类似，仍是通过电离e气体分子收集离子电流的方法进行气压测量，但与热阴极电离规不同的是，它是利用磁控放电电离气体分子产生离子。

　　真空计的量程范围

　　在较高压力时（10～1Pa）利用压力差U型管压力计，麦克劳真空计，薄膜计，弹簧管压力计等。

　　在10～10Pa的中间压力范围，利用气体性质（热传导，粘性）的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。

　　在低压力时，使用将气体分子电离而测量的电离真空计。

　　表 真空计的适用压力范围